温度传感器的热惰性其实就是温度传感器里面热电阻或者热电偶的热惰性，由于热电阻或者热电偶的热惰性使仪表的指示值落后于被测温度的变化，在进行快速测量时这种影响尤为突出。所以应尽可能采用热电极较细、保护管直径较小的热电阻或者热电偶。测温环境许可时，甚至可将保护管取去。由于存在测量滞后，用热电阻或者热电偶检测出的温度波动的振幅较炉温波动的振幅小。测量滞后越大，热电阻或者热电偶波动的振幅就越小，与实际炉温的差别也就越大。当用时间常数大的热电偶测温或控温时，仪表显示的温度虽然波动很小，但实际炉温的波动可能很大。为了准确的测量温度，应当选择时间常数小的热电阻或者热电偶。时间常数与传热系数成反比，与热电阻或者热电偶热端的直径、材料的密度及比热成正比，如要减小时间常数，除增加传热系数以外，最有效的办法是尽量减小热端的尺寸。使用中，通常采用导热性能好的材料，管壁薄、内径小的保护套管。在较精密的温度测量中，使用无保护套管的裸丝热电阻或者热电偶，但热电偶容易损坏，应及时校正及更换。
温度传感器热惰性引起的误差在测量中对测量值有很大的影响，尤其是在精密测量的时候一定要注意传感器热惰性，我们要尽量避免热惰性引起的误差或者采取适当的补偿来消弱这种误差。