电子式湿度传感器是近几十年，特别是近20年才迅速发展起来的。湿度传感器生产厂在产品出厂前都要采用标准湿度发生器来逐支标定，电子式湿度传感器的准确度可以达到2%一3%RH。
电子式湿度传感器的精度水平要结合其长期稳定性去判断，一般说来，电子式湿度传感器的长期稳定性和使用寿命不如干湿球湿度传感器。湿度传感器是采用半导体技术，因此对使用的环境温度有要求，超过其规定的使用温度将对传感器造成损坏。 所以电子式湿度传感器测湿方法更适合于在洁净及常温的场合使用。
湿度作为世界计量领域中著名的难题，而目前的电子式湿度传感器影响其测量精度的误差又有哪些呢？下面来为大家分析一下：
一、湿度传感器的误差
敏感元件分散性造成：即元件阻值、容值对湿度响应的离散性；
信号转换产生误差：即阻值、容值转换为电压、电流信号时产生；
温漂、时漂造成：湿敏元件必需和被测气体直接接触，不能象其它电子器件那样完全密封。故容易被空气中的酸性、碱性成分及有机溶剂腐蚀、污染，所以湿敏元件难以做到长寿命，需要定期标定。寿命较长，稳定性好的传感器标定后可继续使用，达十年以上。
二、二次仪表中，对信号的处理引入的误差
对信号放大、补偿、修正后产生的失真；例如有的湿敏元件温度系数是个变量，常温下补偿后，高温时仍有误差。
整机电路的零点漂移、温度漂移产生的误差。
三、传感器、变送器在校准，标定时产生的误差
标定设备的干燥系统、饱和系统不理想；或者双压法、双温法设备的压力、温度测量控制不准；在分流法设备中因质量流量计不准；在露点法中，因采样气时导管漏气或导管太长而影响温度都会产生较大的误差。
平衡时间不够或难以达到平衡产生的误差。敏感元件周围有发热体（如功率较大的元器件）也会影响测量结果。
传感器在工作室停留位置不同产生的误差。